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反射式MEMS VOA在光通信系统中的应用

反射式MEMS VOA在光通信系统中的应用



信号的实时控制，可与光波分复用器(WDM)、分光探测器(TAP
PD)、掺铒光纤放大器(EDFA)等光器件构成ROADM、VMUX、增益平坦EDFA等模块，还可??
接用于光接收机的过载保护。另外，光功率计等仪器仪表的计量、定标，也需要使用到
VOA??



因素引起信号光功率的变化??



VOA有反射式和挡光式两种，后者的加工工艺复杂，成本高。反射式MEMS
VOA在各种技术中比较成熟，兼有响应时间快、体积小、重量轻、功耗低、动态衰减范??








和材料等参数进行优化设计，制作出不同指标要求的MEMS

装在稳定可靠的密封环境内。外界施加几伏或十几伏的电压到器件的正负引脚后，由于
MEMS芯片的特定构造，在硅基镀金面与镀金反射镜面之间产生静电力，驱动MEMS芯片??




VOA制作的关键所在，光迅科技是国内为数不多的具有独立封装制作反射式MEMS
VOA的光器件公司，其制作的MEMS



造的MEMS
VOA主要指标见表1，已达到行业内同种产品的较高水平。与同类公司相比，光迅的器件


通信系统的小型化和集成化作出了重大的贡献??





型化，这就对构成光系统的元器件提出了小型化和模块化的要求。封装结构紧凑的MEMS

包括：与可重构的光分插复用器(Reconfigurable Optical Add/Drop
Multiplexer，ROADM)组成增益均衡ROADM，与MUX(Multiplexer)组成增益平衡VMUX模块












，并预留上下其它波长的升级口。模块由DWDM(100GHz)、TAP-PD和MEMS










供多路光信道可调光衰减及合波，可在电路控制下调节输入与输出之间的光衰减量。在




用可靠的ME